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智能氣路系統功能模塊
根據不同研究方向需求不同,智能氣路系統可以實(shí)現以下基本功能模塊:
氣體流量單獨控制:用戶(hù)可通過(guò)屏幕上顯示的氣路原理圖直接設定內部質(zhì)量流量控制器(MFC)流量,設定范圍為2%-100%F.S.
電磁截止閥單獨控制:用戶(hù)可通過(guò)屏幕上顯示的氣路原理圖直接控制電磁截止閥關(guān)斷/開(kāi)啟
自動(dòng)分段進(jìn)氣功能:按照客戶(hù)給出的流量設定值及時(shí)間長(cháng)度自動(dòng)完成分段進(jìn)氣,客戶(hù)可針對流量實(shí)現二次編程,自動(dòng)進(jìn)氣
壓力報警和處理:配合壓力傳感器及電磁閥的聯(lián)動(dòng),用戶(hù)可自定義設定壓差上限與下限,實(shí)現壓差上限下限報警或關(guān)斷功能,保護實(shí)驗結果和氣路系統
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